CF₄即四氟化碳，它不属于烃类气体，烃类是仅由碳和氢两种元素组成的有机化合物，而CF₄由碳和氟元素组成，属于卤代烃中的全氟碳化合物，它是一种无色、无味、无毒的气体，具有化学性质稳定、不易燃等特点，在半导体制造等领域有重要应用，如作为蚀刻气体用于芯片制造过程中对特定材料的刻蚀等工艺。