本文聚焦于对CF₄（四氟化碳）电离过程展开探究，核心目的是明晰CF₄在电离时的具体机制及所生成的产物情况，研究将深入剖析电离反应中CF₄如何发生变化，以及会生成何种电离化合物，通过对这一过程的细致研究，有望加深对CF₄化学性质的理解，为相关领域如等离子体化学、材料表面处理等提供理论依据与知识支撑，助